日本進(jìn)口SMC冷水機(jī)深冷器溫控器 維修服務(wù)，zonglen提供相關(guān)維修服務(wù)。主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

日本進(jìn)口SMC冷水機(jī)深冷器溫控器 維修服務(wù)

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

日本進(jìn)口SMC冷水機(jī)深冷器溫控器 維修服務(wù)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

日本進(jìn)口SMC冷水機(jī)深冷器溫控器 維修服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域

激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小

半導(dǎo)體冷熱測試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設(shè)備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標(biāo)制冷量可以達(dá)到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達(dá)到±0.1℃，使用范圍廣，設(shè)定溫度：-20℃~80℃。

半導(dǎo)體冷熱測試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

半導(dǎo)體冷熱測試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

可用選項(xiàng)

省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式