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真空閥是真空系統(tǒng)中使用的真空組件，用于打開(kāi)和關(guān)閉氣流，調(diào)節(jié)氣流或分配氣流。 所有真空系統(tǒng)和真空設(shè)備均配備有真空閥，以通過(guò)真空管將真空泵連接至抽氣系統(tǒng)，或使用真空閥連接各個(gè)真空室以實(shí)現(xiàn)特定的過(guò)程。通常，真空系統(tǒng)是根據(jù) 真空過(guò)程。 要求，要選擇不同類(lèi)型的真空閥，例如真實(shí)的空氣壓力表校準(zhǔn)和直接的空氣泵抽氣速度測(cè)量，您需要配置一個(gè)高精度的微真空排氣室，以調(diào)節(jié)系統(tǒng)的真空度。

為了給真空室或油封機(jī)械泵放氣，只能使用真空放氣閥來(lái)滿(mǎn)足需要。 泵送的容器使用直角管和連接到真空泵的真空泵系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)。 可以使用直角閥代替彎管。 電動(dòng)閥和氣動(dòng)閥可用于自動(dòng)控制真空系統(tǒng)中，而手動(dòng)閥通常用于簡(jiǎn)單的真空泵系統(tǒng)中。燈泡空氣閥與行業(yè)中其他常用閥不同，大的特點(diǎn)是泄漏率高 很高。 頻繁打開(kāi)和關(guān)閉閥板有可能引起密封元件表面的磨損并引起泄漏，特別是對(duì)于帶有金屬密封的超高真空閥。 這個(gè)問(wèn)題更加嚴(yán)重。 因此，閥材料的選擇非常重要。 另外，真空閥還要求對(duì)氣體的阻力小（即，盡可能大的電導(dǎo)），傳動(dòng)部件的輕便靈活的操作以及易于清潔和安裝； 密封件的耐磨性更好，可重復(fù)使用，使用壽命長(zhǎng)。

  金屬真空閥的閥體和傳動(dòng)部分主要是鋼，鋁，銅等金屬材料，手動(dòng)讀門(mén)的驅(qū)動(dòng)手輪和閥體外部的次要部件可以用高強(qiáng)度塑料制成。 通常稱(chēng)為玻璃真空系統(tǒng)。 玻璃閥的優(yōu)點(diǎn)是易于制造，易于使用，易于清潔和觀察，玻璃具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和絕緣性，并且氣體排放比金屬低得多。 密封主要依靠真空潤(rùn)滑脂，因此沒(méi)有磨損問(wèn)題，因此密封可靠且壽命長(zhǎng)。 缺點(diǎn)是玻璃的脆性，這會(huì)影響其使用范圍

  在所有真空系統(tǒng)中，真空閥存在多的問(wèn)題。 特別是，超高真空系統(tǒng)中使用的金屬密封閥必須經(jīng)常承受高溫烘烤。 金屬的熱膨脹和收縮有可能在溫度上升或下降期間引起泄漏。 其次，閥板密封材料的密封表面上的損壞，刮擦和灰塵雜質(zhì)也是造成泄漏的重要原因。 尤其是由運(yùn)動(dòng)軌道上的閥門(mén)的運(yùn)動(dòng)部件的雜質(zhì)，污垢和鋒利的邊緣和角落或閥座上的灰塵和毛發(fā)等異物引起的磨損

  泄漏。 旋轉(zhuǎn)密封比滑動(dòng)密封（例如氣動(dòng)閥的線性驅(qū)動(dòng)軸）更氣密，而滑動(dòng)密封有可能泄漏空氣。 建議在打開(kāi)機(jī)器電源時(shí)首先測(cè)量真空系統(tǒng)的泄漏率。 當(dāng)泄漏率變大時(shí)，應(yīng)首先測(cè)試閥門(mén)的氣密性。 并且應(yīng)該進(jìn)行定期維護(hù)以提高系統(tǒng)的可靠性。 可烘烤閥門(mén)的烘烤溫度通常低于350°C。只要系統(tǒng)能夠滿(mǎn)足閥門(mén)的使用要求，烘烤溫度過(guò)高就難以確保長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。

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