2017-03-17 10:21:10530

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T22/100NM/500NMMEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanicalSystem），微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器

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