采用流行測試方法庫侖電量法原理，測試腔分上下兩部分，薄膜固定在中間，高純氧氣在薄膜的上腔流動，高純氮氣在薄膜的下腔流動，氧分子透過薄膜擴(kuò)散到另一側(cè)的氮氣中，被流動的氮氣攜帶至傳感器，通過對傳感器測量到